[发明专利]低颗粒气体封闭系统和方法有效
| 申请号： | 201911241814.3 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN110816072B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | J.莫克;A.S-K.高;E.弗龙斯基;S.阿尔德森;A.斯特帕诺夫 | 申请（专利权）人： | 科迪华公司 |
| 主分类号： | B41J2/175 | 分类号： | B41J2/175;B41J29/02;B41J29/12;B41J29/13;B41J29/377;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京坦路来专利代理有限公司 11652 | 代理人： | 索翌 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种系统，所述系统包括：气体封闭件，所述气体封闭件限定内部；印刷系统，所述印刷系统被定位在所述气体封闭件的内部中，所述印刷系统包括印刷头组件；基板支撑设备，所述基板支撑设备被定位在所述气体封闭件的内部中，所述基板支撑设备用于支撑要被印刷的基板；管道系统，所述管道系统限定开口，所述开口被定位成接收从所述管道系统被布设到所述气体封闭件的内部中的服务束；以及密封覆盖件机构，所述密封覆盖件机构具有打开位置和关闭位置，以分别打开和关闭所述开口，在所述关闭位置中，所述密封覆盖件机构能够密封所述开口。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 气体 封闭系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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