[发明专利]一种垂直结构的有机电化学晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201911245752.3 | 申请日： | 2019-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN111048664A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈惠鹏;严育杰;郭太良;陈耿旭;陈奇珍;巫晓敏;柯钰丹 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 丘鸿超;蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种垂直结构的有机电化学晶体管及其制备方法，所述垂直结构的有机电化学晶体管为顶栅垂直结构，从下往上依次为基底、漏电极、有源层、网状源电极，电解质层和栅电极。其制备方法包括以下步骤：1）在具有图案化漏电极的基底上通过旋涂工艺沉积聚合物导电薄膜并退火，制得有源层；2）在有源层上通过旋涂工艺沉积网状源电极薄膜并退火；3）在网状源电极上通过旋涂或刮涂工艺沉积聚合物离子凝胶电解质并退火，制得电解质层；4）在电解质层上通过热蒸镀的方法制备栅电极，得到垂直结构的有机电化学晶体管。该方法制备的有机电化学晶体管可以缩小器件尺寸，提高器件性能，扩展其应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 结构 有机 电化学 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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