[发明专利]一种用于液体检测的薄膜体声波传感器在审
| 申请号： | 201911247636.5 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN110967380A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陈达;彭杰;王鹏;张小军;邵林;孟令龙;李忠丽 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02 |
| 代理公司： | 青岛锦佳专利代理事务所(普通合伙) 37283 | 代理人： | 朱玉建 |
| 地址： | 266590 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于压电谐振器及声波传感技术领域，涉及一种用于液体检测的薄膜体声波传感器。该薄膜体声波传感器包括基底、声反射层、压电薄膜、金属电极对以及微流体通道，其中，金属电极对由两个金属激励电极组成，其中一个金属激励电极位于压电薄膜的一侧，另一个金属激励电极位于压电薄膜的另一侧，微流体通道设置于压电薄膜与其中一个金属激励电极之间。由于金属电极对产生的高频电场能够穿过微流体通道中的液体，使得本发明中传感器对所测试液体的电导性、介电性等电学性质具有较强的敏感特性，电场激发压电薄膜产生的体声波在液体中传播形成谐振，直接接触所测物质，有利于提升传感器的灵敏性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 液体 检测 薄膜 声波 传感器 | ||
【主权项】：
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