[发明专利]一种SBD器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201911250850.6 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111048597B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王谦;费晨曦;柏松 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/40;H01L21/34 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种SBD器件及其制备方法，所述SBD器件包括：欧姆接触金属层；衬底，位于所述欧姆接触金属层上；外延层，位于所述衬底上；第一钝化层，位于所述外延层上；金属层，位于所述第一钝化层上；以及第二钝化层，位于所述金属层上。本发明提供的一种SBD器件及其制备方法，通过在垂直型Ga |
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| 搜索关键词： | 一种 sbd 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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