[发明专利]一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法有效
| 申请号： | 201911252189.2 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN110931344B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 卢瀚仑;陈志涛;王巧;刘宁炀 | 申请（专利权）人： | 广东省半导体产业技术研究院 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/40;G01N27/64 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 徐彦圣 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法，涉及检测技术领域。该靶片包括介质层与第一导电层，其中，介质层包括正面与背面，且介质层的正面上设置有一个或多个载样区；同时介质层与第一导电层连接，且第一导电层连接于介质层的背面；同时，根据实际需求该靶片还应包括第二和/或第三导电层。第二导电层连接于介质层正面载样区内、第三导电层连接于介质层正面非载样区。本申请提供的用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法具有信噪比更加理想、工艺简单，成本更低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 介电型 样品 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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