[发明专利]一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法有效
| 申请号： | 201911253639.X | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN113031250B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法，包括框架、连接装置、电互连装置、电隔离装置和镜面，所述框架包括第一框架和第二框架，所述第一框架与第二框架通过连接装置活动连接，所述电隔离装置将所述框架划分为多个电隔离区间，所述电互连装置的端部位于不同的电隔离区间内，所述镜面活动设置于所述第一框架中；所述框架上包括电互连结构包括介质层和金属线，所述介质层和金属线堆叠排布在所述框架上，所述介质层为硅氧化物薄膜或硅氮化物薄膜，所述金属线材料为金，所述整体部件主要由刻蚀工艺形成，具有工作效率高，工艺稳定性高，可重复性好，生产成本低，易于进行大批量生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 创新 互连 结构 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
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