[发明专利]太阳能电池的制备方法

摘要

本申请提供一种太阳能电池的制备方法，包括在硅片的一侧表面制备隧穿层，再于所述隧穿层表面依次制备第一掺杂多晶硅层、第二掺杂多晶硅层，所述第一掺杂多晶硅层的掺杂浓度小于第二掺杂多晶硅层的掺杂浓度，并经后续退火得到掺杂多晶硅层。本申请通过对掺杂多晶硅层的制备过程进行优化，先在靠近隧穿层的位置制备掺杂浓度较低的第一掺杂多晶硅层，再层叠制备掺杂浓度较高的第二掺杂多晶硅层，后续高温退火形成掺杂多晶硅层的过程中，能够减小对隧穿层钝化效果的影响，提高电池性能。