[发明专利]一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法有效
| 申请号： | 201911254630.0 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110993467B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 范亚松;胡文景;梁田;王玉春;马静;赵请;张毅;张坤 | 申请（专利权）人： | 南京三乐集团有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J23/04;B08B3/12;B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211800 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法，包括以下步骤：(1)将阴极进行湿法处理；(2)将湿法处理完成后的阴极进行干燥处理；(3)将干燥后的阴极置入高温炉中进行净化还原退火处理；(4)将退火处理后的阴极进行等离子蚀刻；本发明采用湿法去除阴极表面的残盐，阴极的蒸发速率相比于传统工艺方法降低一倍，等离子刻蚀去掉阴极表面的氧化物以及表面形变层，制备了表面洁净且曲率尺寸无变化的阴极表面，提高阴极寿命及抗中毒性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 真空 电子器件 阴极 复式 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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