[发明专利]一种可调光学对位平台在审
申请号: | 201911254892.7 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN111007700A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 余燕青;甘泉 | 申请(专利权)人: | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 许彬 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种可调光学对位平台,具有机座及组装在机座上的装载平台,所述装载平台的四个方位均通过升降模块连接机座,且机座在其中三个方位中布设平移直线模块连接对应的升降模块,实现装载平台的三个方位相对平移调整;而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上,实现装载平台的定位。本发明实现装载平台的四个方位高度升降调整,以获得水平形态;且机座在其中三个方位中提供平移直线模块连接对应的升降模块,实现装载平台的三个方位相对平移调整,而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上,实现装载平台的定位,提供基点,实现X、Y、θ方向的调节。本发明结构简单,调节方便、稳定,准确性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 可调 光学 对位 平台 | ||
【主权项】:
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