[发明专利]显影方法和显影装置有效
| 申请号： | 201911255827.6 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110908252B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 王绪根;吴长明;姚振海;陈骆;韩建伟;刘冲 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一显影方法和显影装置。其中，显影方法包括使曝光后的晶圆以第一速度旋转，辅助液喷头沿径向从晶圆的边缘区域处向晶圆的中心移动，辅助液喷头在移动过程中喷出辅助液；使晶圆提高旋转速度，显影液喷头在晶圆的中心区域喷出预湿显影液；使晶圆的旋转速度提高到第二速度，保持第二速度旋转第一时间段，扩展预湿显影液和辅助液以均匀润湿晶圆表面的光刻胶；对晶圆进行显影。显影装置包括旋转机构、显影液喷头、辅助液喷头以及用于输出控制信号的控制系统，控制信号用于控制旋转机构、显影液喷头和辅助液喷头执行显影方法。本发明通过预湿过程解决相关技术中显影过程中显影图案缺陷的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 方法 装置 | ||
【主权项】：
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