[发明专利]一种室温高频太赫兹波探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911255986.6 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111121957A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 张凯;董卓;沈文;沈寒松 | 申请（专利权）人： | 江苏盖姆纳米材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/02 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种室温高频太赫兹波探测器及其制备方法，属于太赫兹波探测研究技术领域。包括高载流子迁移二维材料、场效应晶体管和太赫兹天线，场效应晶体管具有源电极、栅电极和漏电极，源电极、栅电极和漏电极集成于带有介质层的衬底上，太赫兹天线与场效应晶体管的三个电极相连；高载流子迁移二维材料上下表面分别包覆二维层状介电材料，与漏电极连接的和与源电极连接的太赫兹天线端与高载流子迁移二维材料欧姆接触，与栅电极连接的太赫兹天线端通过二维层状介电材料与高载流子迁移率二维材料为肖特基接触。本申请有效耦合高频太赫兹波，避免高载流子迁移率二维材料制备时引起的载流子迁移率降低的问题，实现对高频太赫兹波有效探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 室温 高频 赫兹 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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