[发明专利]一种用于晶圆清洗的超声清洗装置有效
| 申请号： | 201911256467.1 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110976377B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 谢广钦 | 申请（专利权）人： | 爱阔特(上海)清洗设备制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 乔建 |
| 地址： | 201109 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种用于晶圆清洗的超声清洗装置，包括清洗腔、驱动结构、移动臂，所述驱动结构的输出端贯穿清洗腔与旋转臂固定连接。该用于晶圆清洗的超声清洗装置，伺服结构的移动速度随着靠近移动台的中心逐渐加速，与靠近中心位置的点线速度降低相抵，使每个点接受到到超声能量保持均匀，同时本申请的超声超声面积呈线状，伺服结构移动速度和移动台的转速向配合，一次即可完全清洗整个晶圆的表面，由于晶圆偏心旋转，通过晶圆空隙经过位置感应器的时间即可以计算晶圆的旋转状态，同时便于对晶圆的位置进行标识，因而既可以使每次清洗路径相同，保证清理的同一性，也可以灵活设计起始位置和清洗路径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 超声 装置 | ||
【主权项】：
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