[发明专利]一种磁控溅射台

摘要

本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种磁控溅射台，包括机体、溅射腔室、屏蔽罩、旋转磁铁、基板、靶材，所述基板上安装有导热管，所述导热管内安装有弹性筒，所述弹性筒内填充有膨胀液体，所述导热管的顶部固定安装有导流管，所述导流管的内壁固定安装有密封条，所述弹性筒的顶部固定连接有支撑杆。通过导热管与靶材之间的接触，使得膨胀液体可根据靶材自身的温度，自动作出相应的伸缩距离，使得膨胀液体根据靶材自身的状态自动控制冷却水的流出，使得靶材在使用过程中，出现高温时，可利用膨胀液体及时将靶材上的温度去除，使得靶材始终处于高效率的工作状态，同时利用水囊的作用，可将靶材表面的温度直接去除。