[发明专利]晶圆级光学窗口及制作方法和具有该光学窗口的微镜装置有效
| 申请号： | 201911256878.0 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN113031128B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B26/08;B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆级光学窗口，包括：基材层，基材层具有相对设置的第一面和第二面；光学元件层，光学元件层集成于所述第一面和/或所述第二面的特定区域内。相应地，本发明提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置。本发明还提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置，包括晶圆级光学窗口，还包括：基底；MEMS微镜，MEMS微镜设置于所述基底上；支撑架，支撑架设置于晶圆级光学窗口与MEMS微镜之间。本发明通过在晶圆级光学窗口的特定区域上集成光学元件层，利用该集成有光学元件层的晶圆级光学窗口与MEMS微镜形成微镜装置，并将该微镜装置应用于各类光学系统中，能够实现包括散斑抑制、光束准直、聚光和扫描角度增大等功能。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆级 光学 窗口 制作方法 具有 装置 | ||
【主权项】：
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