[发明专利]笼型聚倍半硅氧烷低聚物、压印型光刻胶及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911256902.0 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN111944149A 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 秦龙;花雷;耿文练 申请(专利权)人: 上海函泰电子科技有限公司
主分类号: C08G77/04 分类号: C08G77/04;C08G77/06;G03F7/075
代理公司: 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 代理人: 杨飞
地址: 201101 上海市闵行*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种笼型聚倍半硅氧烷低聚物及其制备方法,该笼型聚倍半硅氧烷低聚物具有如下结构式:本发明还涉及一种含有上述笼型聚倍半硅氧烷低聚物的压印型光刻胶及其制备方法。本发明所得光刻胶固化后的膜具有良好的热稳定性和机械性能,组且该光刻胶具有良好的脱模性能和刻蚀性能;且该光刻胶压印后可得到图形完整、纳米级的的压印图案。
搜索关键词: 笼型聚倍半硅氧烷低聚物 压印 光刻 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海函泰电子科技有限公司,未经上海函泰电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201911256902.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top