[发明专利]笼型聚倍半硅氧烷低聚物、压印型光刻胶及其制备方法在审
申请号: | 201911256902.0 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN111944149A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 秦龙;花雷;耿文练 | 申请(专利权)人: | 上海函泰电子科技有限公司 |
主分类号: | C08G77/04 | 分类号: | C08G77/04;C08G77/06;G03F7/075 |
代理公司: | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人: | 杨飞 |
地址: | 201101 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明涉及一种笼型聚倍半硅氧烷低聚物及其制备方法,该笼型聚倍半硅氧烷低聚物具有如下结构式: |
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搜索关键词: | 笼型聚倍半硅氧烷低聚物 压印 光刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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