[发明专利]一种钛酸钡单晶外延薄膜阈值开关器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201911257017.4 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110970554B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 贾彩虹;杨光红;李沁轩;张伟风 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L43/10;H01L43/08 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 张丽 |
| 地址： | 475001*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本申请公开一种钛酸钡单晶外延薄膜阈值开关器件及其制备方法，属于物理化学合成和电子信息技术领域，所述制备方法包括如下步骤：（1）以NSTO为基片，将清洗好的NSTO基片放入脉冲激光沉积系统，以钛酸钡陶瓷为靶材，进行钛酸钡薄膜生长，生长完毕进行原位退火，在氧气氛保护下降温至室温，取出样品；（2）钛酸钡薄膜表面盖上掩膜版，蒸镀铬薄膜；（3）再在铬薄膜上热蒸镀金属Au薄膜；（4）在基底背面压金属铟丝或铟粒，作为下电极，即得到单晶外延钛酸钡薄膜阈值开关器件，所述器件的结构为Au/Cr/BTO/NSTO/In。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛酸钡 外延 薄膜 阈值 开关 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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