[发明专利]微制像设备及其加工方法在审
| 申请号： | 201911257838.8 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112824974A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 郭鸿鼎 | 申请（专利权）人： | 墨子光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微制像设备及其加工方法，包括：一投影装置，用以提供形成有一图案的多个光束；一准直元件，用以将该多个光束形成多个准直光束；一缩光元件，用以将该多个准直光束形成多个缩光光束；以及一聚焦元件，用以将该多个缩光光束形成多个聚焦光束，以将该多个聚焦光束所形成的该图案成像在目标物上，避免使用传统制程中的光罩，以降低制程成本，且提高制程效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微制像 设备 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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