[发明专利]一种中空式一维精密定位平台

摘要

本发明提供一种中空式一维精密定位平台，将音圈电机与导向机构设计为轴向中空结构，沿轴向将导向机构设置在采用音圈电机的两端，导向机构由柔性导向结构与沿轴向设置在柔性导向结构两端的支架组成，其中柔性导向结构由包含簧片，并且呈径向中空结构的柔性导向单元组成。工作状态时，动子沿轴向运动，带动两个导向机构中的支架产生轴向位移，从而使两个导向机构中的弹性簧片发生形变。与现有技术相比，本发明的精密定位平台具有导向机构径向尺寸小、平台紧凑，利于光路传播，音圈电机在轴向以外的其他方向的运动自由度被约束，以及双端输出等优点。