[发明专利]一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法有效

专利信息
申请号: 201911262018.8 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN110905909B 公开(公告)日: 2023-09-12
发明(设计)人: 杨淼;杨桂林;张驰;余宏涛;黄晓路;桑娜 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: F16C11/12 分类号: F16C11/12;F16M11/04;G12B5/00;B25H1/00
代理公司: 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法。该定位平台包括基座以及位于基座上的动平台、传动机构以及四个音圈电机;传动机构包含四条柔性支链,每条柔性支链包含三个柔性P单元与一个柔性R单元,通过柔性P单元的结构设计、各柔性P单元的连接设计、柔性R单元的结构设计以及与柔性P单元的连接设计实现了沿X轴与Y轴的平动以及绕Z轴的转动。与现有技术相比,本发明解决了传动机构的运动范围与运动刚度和运动精度之间的矛盾,定位平台具有大运动范围、高输出刚度和高运动精度;同时可有效弥补音圈电机推力不足的问题,冗余驱动支链的加入减小了音圈电机的驱动力峰值要求。
搜索关键词: 一种 平面 自由度 精密 定位 平台 使用方法 控制 方法
【主权项】:
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