[发明专利]掩模对准机用的基板升降装置有效
| 申请号： | 201911266183.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111411322B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 郑钟晔;S·梁 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模对准机用的基板升降装置，该装置包括：可变升降销，用于支撑基板；销板，设置成可升降；升降部，用于使所述销板升降；可变销板，结合有所述可变升降销；以及切换部，结合于所述可变销板，其中，所述切换部包括切换机构，所述切换机构以能够在支撑位置与隔开位置之间进行旋转的方式结合于切换主体，所述支撑位置是所述切换机构被所述销板支撑，使得所述可变销板随着所述销板升降而一同升降的位置，而所述隔开位置是所述切换机构从所述销板隔开，以使所述销板相对于所述可变销板独立地升降的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 升降 装置 | ||
【主权项】：
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