[发明专利]一种可见光到近红外光带通滤波石墨烯光电探测器有效
| 申请号： | 201911266930.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111129181B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;曹峻;赵炎亮;胡耕涛;杨建文;曹铎;石卉 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | H01L31/0232 | 分类号： | H01L31/0232;H01L31/028;H01L31/09;H01L31/101 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，该探测器包括自下而上依次堆叠的基板(1)、第一膜堆(2)、光电探测器层、二氧化硅缺陷层(5)以及第二膜堆(6)，所述的二氧化硅缺陷层(5)厚度为100‑775nm。与现有技术相比，本发明具有光响应度高，容易与现代集成电路相兼容、在可见光到近红外波段具有窄带滤光功能等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可见光 红外 光带 滤波 石墨 光电 探测器 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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