[发明专利]一种氮化硅卡帽及制备方法、多晶硅还原炉用硅芯固定组件在审
| 申请号： | 201911267278.4 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112939609A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 黄彬;马建军;潘小龙;张吉武;苏春阳;宗鑫;刘彬 | 申请（专利权）人： | 新疆晶硕新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新技术开发区*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氮化硅卡帽的制备方法，包括：S1,取氮化硅、氮化钛、烧结助剂、水，混合，制成浆料；S2,将制得的浆料喷雾、干燥，得到造粒粉；S3,再用造粒粉压制成卡帽素胚，再加工成型；S4,对加工成型的所述卡帽素胚进行脱胶处理，再放入高温条件下烧结，得到可导电的氮化硅卡帽。本发明还公开一种采用上述方法制备的氮化硅卡帽、以及含有所述氮化硅卡帽的多晶硅还原炉用硅芯固定组件。本发明的制备方法工艺简单，氮化硅卡帽强度高，可提高使用寿命，用于多晶硅还原炉可降低对多晶硅产品质量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 硅卡帽 制备 方法 多晶 还原 炉用硅芯 固定 组件 | ||
【主权项】：
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