[发明专利]立式镀膜机的旋转系统在审
| 申请号： | 201911270385.2 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN112981336A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 凌云;王聪;寇立;唐洪波 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了立式镀膜机的旋转系统，包括一旋转基片架，和自旋转基片架圆心处由内至外设置的自转磁棒、防护组件和靶材组件，所述旋转基片架通过一齿轮机构旋转。与现有技术相比，本发明提供的立式镀膜机的旋转系统通过两个旋转机构，分别使自转磁棒和旋转基片架自转或旋转。通过设置七块靶材，人为将七块靶材分为两部分，每部分靶材的相邻靶材溅射后为渐进的颜色，自转磁棒旋转，再拆卸下对应的防护元件，可自由溅射不同渐变色系的基片。基片架的旋转，实现了不同列基片的高效对接溅射。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 镀膜 旋转 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司，未经湘潭宏大真空技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911270385.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
