[发明专利]一种用于原子力显微镜的探针操作装置及其操作方法在审
| 申请号： | 201911270393.7 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110850118A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 于斯涵;许可 | 申请（专利权）人： | 沈阳建筑大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 任凯 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种原子力显微镜的探针操作技术，具体涉及一种用于原子力显微镜的探针操作装置及其操作方法。本发明的技术方案如下：一种用于原子力显微镜的探针操作装置，包括探针拾取器、电动位移平台、控制器、操控器和系统基座；电动位移平台固定于系统基座的底部，探针拾取器固定于系统基座的上部并悬置于电动位移平台上方；探针拾取器、电动位移平台及操控器分别通过信号线缆与控制器相连；探针拾取器利用真空吸附原理实现对探针的可靠拾取与释放；电动位移平台用于实现探针在操作空间的四自由度位姿定位；操控器通过控制器控制电动位移平台运动和控制探针拾取器启停。本发明能够实现探针从探针盒到探针夹的可靠装配，以及探针从探针夹到探针盒的可靠卸载。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 原子 显微镜 探针 操作 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
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