[发明专利]一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗工艺在审
| 申请号： | 201911271892.8 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110976414A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 游利 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02;B08B5/02;B08B3/04;C23G3/00;C23F1/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗工艺，属于铝合金零部件清洗技术领域；一种半导体铝合金零部件超高洁净清洗工艺：将半导体铝合金零部件放入装有清洗液的超声波清洗机内清洗；放入清水池进行第一次过滤清洗；将清洗后的零部件进行脱脂清洗；放入清水池进行第二次过滤清洗；将零部件进行酸蚀处理；放入清水池进行第三次过滤清洗；将零部件再次放入容器同时加入硝酸浸泡；放入清水池进行第四次过滤清洗；通过喷水枪对零部件进行冲洗，采用热水清洗；采用氮气枪吹干，本发明有效去除灰尘粒子、金属离子、油污、脏污，进而满足客户对零件表面有机物、易挥发物、离子污染等的要求，从而提高晶圆良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 铝合金 零部件 超高 洁净 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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