[发明专利]一种分层式电极的声表面波滤波器结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201911272887.9 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111010126A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 王为标;沈君尧;傅肃磊;苏荣宣;陆增天 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分层式电极的声表面波滤波器结构及其制备方法，涉及电子信息材料领域，该结构由下至上依次包括压电单晶基片、第一层叉指换能器、二氧化硅层和第二层叉指换能器，第二层叉指换能器的线宽与第一层叉指换能器的线宽相同、相邻叉指间隙相同，两层叉指换能器交错设置，通过将叉指换能器的接地端和信号端分层的方式显著提高了传统压电单晶类声表面波器件的频率，通过同一套叉指换能器的两次制备，能够实现两层叉指换能器的材料和厚度的不同，从而精确控制声表面波滤波器的波模式，进一步增强有效波，抑制杂波，减少能量耗散，实现信号的高质量、无干扰传输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分层 电极 表面波 滤波器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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