[发明专利]一种基于二维光栅和四象限探测器的两轴加速度计结构有效
| 申请号： | 201911273080.7 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110940830B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;李孟委;亓杰;金丽;辛晨光 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于加速度计技术领域，具体涉及一种基于二维光栅和四象限探测器的两轴加速度计结构，包括上层结构、中层结构和下层结构，中层结构设置在上层结构与下层结构之间，上层结构的中部设置有二维光栅，中层结构的上设置有质量块，质量块上固定有玻璃基底，玻璃基底上固定有一维光栅，下层结构的中部设置有四象限探测器，二维光栅的顶部设置有激光器。本发明通过一层二维光栅和四象限的一维光栅实现的双轴加速度测量，较传统加速度计，提高了检测量程，同时，利用相错四分之一光栅周期的一维光栅实现两个相位差90°的A、B相信号，从而实现进一步的电学细分，提高了加速度计的灵敏度。本发明用于载体加速度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二维 光栅 象限 探测器 加速度计 结构 | ||
【主权项】：
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