[发明专利]一种高灵敏度微型氢气传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911273794.8 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110907504B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 李红芳;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度微型氢气传感器，包括：悬臂梁支撑结构；微悬臂梁氢敏材料支撑层，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第一端固定设置在所述悬臂梁支撑结构的上方，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第二端为自由端；微悬臂梁氢敏材料层，所述微悬臂梁氢敏材料层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的上方；微悬臂梁引出电极，所述微悬臂梁引出电极设置在所述微悬臂梁氢敏材料层一端的上方；柔性压敏电阻层，所述柔性压敏电阻层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端的下方，且与所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端轻接触；以及柔性压敏电阻电极，所述柔性压敏电阻电极设置在所述柔性压敏电阻层下方。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 微型 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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