[发明专利]蒸发组件和方法有效
| 申请号： | 201911273922.9 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111304598B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 埃克哈特·赖因霍尔德;约尔格·法贝尔;乌维·魏纳 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞朋;胡彬 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据不同的实施方式，蒸发组件(100，300至900)可具有：多件式的壳体，该壳体(102)具有壳体槽(102w)和可从这个壳体槽上取下的壳体盖(102d)；坩埚(104)，其用于将容纳在该坩埚(104)中的蒸发物质从壳体(102)中热蒸发，该坩埚(104)具有至少一种耐高温材料；和坩埚保持结构(108)，其将坩埚(104)保持在壳体槽(102w)内并且与该壳体槽保持空间分离，其中，壳体盖(102d)具有蒸汽流出口(102o)，穿过该蒸汽流出口提供从壳体(102)中的热蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 组件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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