[发明专利]应用于AFM-SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法有效
| 申请号： | 201911274839.3 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111024988B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 陈科纶;王纯配;陈俊;孙钰;汝长海 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;G01Q80/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法。本发明一种应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC，包括：pcb基板、设置在所述pcb基板上的衬底、设置在所述衬底上的固定值电阻器、设置在所述衬底上的压电电阻器、焊盘和固定结构；所述压电电阻器包括悬臂梁和设置在所述悬臂梁前端的探针；所述固定值电阻器和所述压电电阻器互相平行；所述pcb基板远离所述衬底的一侧、两个侧边和靠近所述衬底的一侧设有第一导电涂层。本发明的有益效果：通过导电涂层尽可能消除落在PRC上的电荷，降低SEM电子束对PRC造成的干扰，使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 afm sem 混合 显微镜 系统 prc 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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