[发明专利]探针卡管理系统和探针卡管理方法有效
| 申请号： | 201911275070.7 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111308302B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 渡边真二郎 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R35/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高精度地管理探针卡的寿命的探针卡管理系统和探针卡管理方法。所述探针卡管理系统具备检查装置和多个管理装置。各个检查装置具有摄像机、检查部以及发送部。检查部根据由摄像机拍摄到的探针的针尖的图像来测定各探针的针尖的状态，基于测定结果使探针的针尖与设置于被检查体的多个测试垫的各测试垫接触，经由多个探针的针尖向被检查体提供电信号，由此对被检查体进行检查。发送部向管理装置发送测定结果和由探针卡进行的检查的执行次数。管理装置具有阈值确定部和通知部。阈值确定部针对每个探针卡，基于测定结果和执行次数来确定作为探针卡的寿命的执行次数的阈值。通知部向外部通知针对每个探针卡的阈值和目前为止的执行次数。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 管理 系统 方法 | ||
【主权项】：
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