[发明专利]光固化封装组合物、封装结构及半导体器件有效

专利信息
申请号: 201911275752.8 申请日: 2019-12-12
公开(公告)号: CN110894361B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 王士昊;洪海兵;杨楚峰 申请(专利权)人: 浙江福斯特新材料研究院有限公司
主分类号: C08L83/04 分类号: C08L83/04;C08G77/14;C08G77/06;H01L23/29;H01L51/52
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 梁文惠
地址: 311305 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种光固化封装组合物、封装结构及半导体器件。包括可光固化含硅单体、可光固化含环氧烷基稀释剂和光引发剂,可光固化含硅单体具有如下结构式:其中,n是0到50的任意一个整数,X1、X2、X3、X4、X5、X6中的至少一个是取代或未经取代的C6到C50的芳基、取代或未取代的C7到C50的芳烷基中的任意一种,由于采用具有上述结构式I的可固化含硅单体作为聚合的单体,由于其中包含的苯环和环氧基团,在将其与可固化含环氧烷基稀释剂进行配合时,所形成的聚合物薄膜具有更高的光透过率、更高的固化速度、更低的等离子体刻蚀速率,从而更好地满足了现有技术中封装薄膜的要求。
搜索关键词: 光固化 封装 组合 结构 半导体器件
【主权项】:
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