[发明专利]量程与灵敏度可调的柔性压阻式压力传感器在审

专利信息
申请号: 201911277053.7 申请日: 2019-12-12
公开(公告)号: CN111103075A 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 顾文华;赵雨航;朱晓波;钱振涛;陈雪 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G01L1/18 分类号: G01L1/18;G01L9/06;G01L23/08
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 岑丹
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种量程与灵敏度可调的柔性压阻式压力传感器,包括第一封装层、柔性基底、压阻传感材料、电极层、垫片和第二封装层,所述压阻传感材料设置在柔性基底和电极层之间,垫片设置在电极层上,通过改变垫片的个数改变量程和灵敏度,所述压阻传感材料为纳米颗粒或纳米线。本发明通过在压阻传感材料与封装层之间引入垫片,显著提高了器件的应变灵敏度,且可通过控制垫片数量人为调控应变灵敏度,大大扩展了应用范围。
搜索关键词: 量程 灵敏度 可调 柔性 压阻式 压力传感器
【主权项】:
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