[发明专利]一种具有磁闭环调制效应的磁传感材料堆层结构及其制备方法在审
申请号: | 201911279397.1 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN110865321A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 刘明;关蒙萌;胡忠强;周子尧;朱家训;吴金根 | 申请(专利权)人: | 珠海多创科技有限公司 |
主分类号: | G01R33/05 | 分类号: | G01R33/05 |
代理公司: | 广东朗乾律师事务所 44291 | 代理人: | 杨焕军 |
地址: | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种具有磁闭环调制效应的磁传感材料堆层结构及其制备方法,该磁传感材料堆层结构包括:基底;设置于基底上的磁阻传感层;设置于磁阻传感层上的第一连接电极层;设置于第一连接电极层上的绝缘层;设置于绝缘层上的磁电复合层,磁电复合层包括位于绝缘层上的铁磁金属层和位于铁磁金属层上的压电层;设置于磁电复合层上的第二连接电极层。本发明的磁传感材料堆层结构,采用磁电薄膜作为传感器的磁场反馈部分,磁电薄膜将电压转化为内部磁场的变化,从而可以在磁场传感器内部形成闭环结构,有利于降低磁场传感器的重量和体积,同时配合作为磁场的探测部分的磁阻传感层,磁场传感器可以获得高的灵敏度以及大的线性范围,且实现了低功耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 闭环 调制 效应 传感 材料 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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