[发明专利]测量平面龙虾眼光学器件聚焦性能的真空测试装置和方法有效
| 申请号： | 201911279497.4 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111076900B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 黎龙辉;张臣;金戈;袁为民;张双南;顾燕;孙建宁;张振;徐昭;姜博文 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司;中国科学院国家天文台 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01T1/24;G01T1/29 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 发明公开了一种测量平面龙虾眼光学器件聚焦性能的真空测试装置和方法，该测试装置主要以真空系统为主体，搭载X射线光源、CMOS探测器、平面龙虾眼光学器件(Micro Pore Optic,简记为MPO)、刀口狭缝系统和位移控制系统，利用平面MPO光学器件的点对点聚焦成像特性实现对平面MPO质量的过程检测，检测参数主要包括X射线焦距、焦斑半高宽包围直径(Full Width at Half Maximum,简记为FWHM)，角分辨率、均匀性和有效面积等关键技术指标。本发明测量精度高，能够准确获取不同位置处成像信息，可实现对平面MPO光学器件质量的X射线检测，有助于发现质量问题，指导工艺生产，进而提高平面MPO聚焦性能。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 平面 龙虾 眼光 器件 聚焦 性能 真空 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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