[发明专利]一种实现近红外光吸收增强的微纳米阵列结构

摘要

本发明公开了一种实现近红外光吸收增强的微纳米阵列结构，微结构包括微纳米阵列结构的基底、微纳米阵列柱、填充在所述微纳米阵列结构空隙中的填充物。所述微纳米阵列结构的基底为单晶硅，用于作为所述微纳米阵列柱的结构载体；所述微纳米阵列柱为周期分布的硅柱状结构，覆盖于所述基底上，用于增加对光源吸收；所述填充物为金属物和缓冲层，所述填充物设置在所述相邻的微纳米阵列柱的空隙中，因该填充物为金属，在光照下，微结构阵列的局域表面发生等离子体共振效应，从而实现对近红外波段光吸收增强。该微纳米阵列结构从所设计微纳阵列的边长、占空比、高度、填充物等方面进行优化，从而提高该微结构在近红外波段的光吸收效率。该发明在抗反射，隐身，太阳能电池等领域具有广阔的应用前景。