[发明专利]具有层叠的单元晶体管的非易失性存储器件及其操作方法有效

专利信息
申请号: 201911279762.9 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111508965B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 卢侑炫;李宗昊 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司;首尔大学校产学协力团
主分类号: H10B43/30 分类号: H10B43/30;H01L29/10;H01L29/423
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 王建国;许伟群
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请公开了具有层叠的单元晶体管的非易失性存储器件以及其操作方法。该非易失性存储器件包括:沿第一水平方向延伸的栅极线;从栅极线沿垂直方向延伸的柱状形状的栅电极;沿第二水平方向平行地延伸的多个位线和多个源极线,第二水平方向与第一水平方垂直,多个位线和源极线在垂直方向上层叠;以及多个单元晶体管,其被垂直层叠以包围位于多个位线和多个源极线之间的栅电极的外侧表面。每个单元晶体管包括包围栅电极的外侧表面的栅极介电层、以及包围栅极介电层的外侧表面的沟道层。
搜索关键词: 具有 层叠 单元 晶体管 非易失性存储器 及其 操作方法
【主权项】:
暂无信息
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