[发明专利]一种基于二型量子阱的双波段红外光电探测器有效
申请号: | 201911279951.6 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN110970514B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 陈佰乐;谢宗恒 | 申请(专利权)人: | 上海科技大学 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/0304;H01L31/105 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 徐俊 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于二类量子阱的双波段红外光电探测器,其特征在于,包括依次复合的InP衬底、在InP衬底上生长的延长短波红外InGaAs阳极接触层、延长短波红外InGaAs/GaAsSb二类量子阱吸收层、延长短波红外InGaAs/GaAsSb二类量子阱阴极接触层、近红外InGaAs阴极接触层、近红外InGaAs吸收层、近红外InGaAs阳极接触层,以及两个阳极金属电极及一个阴极金属电极。本发明基于生长技术成熟的InP衬底,使用的化合物半导体材料与InP衬底晶格匹配,从而有较低的暗电流,较高的信噪比,吸收谱能够覆盖1.7‑2.8μm波段,同时还具有一定的可调节范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 量子 波段 红外 光电 探测器 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的