[发明专利]基板载置方法、成膜方法、成膜装置及有机EL面板的制造系统有效
| 申请号： | 201911280348.X | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111321385B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 高津和正 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板载置方法、成膜方法、成膜装置及有机EL面板的制造系统。基板载置方法包括：计测基板与掩模的位置偏移量的计测工序；在位置偏移量超过规定的阈值的情况下将基板移动到不与掩模接触的第二高度，以使基板与掩模的位置偏移量减少的方式移动基板的对准工序；在位置偏移量为规定的阈值以下的情况下将基板移动到不与掩模接触的第三高度，进而使基板支承部沿着第一基板支承部相对于第二基板支承部所在的方向移动的偏置动作工序；以使第二按压部的按压力小于第一按压部的按压力的方式变更第二按压部的按压力的按压变更工序；以及使基板下降而将基板载置到所述掩模之上的载置工序。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载置 方法 装置 有机 el 面板 制造 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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