[发明专利]线性电机平台的控制方法以及控制装置在审

专利信息
申请号: 201911280775.8 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111324033A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 佐藤海二;赤松薫 申请(专利权)人: 日立金属株式会社
主分类号: G05B11/42 分类号: G05B11/42
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 宋融冰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种设计的流程、控制器的调整容易,无需有关控制理论的特别的知识,能够高精度且高速的定位的基于NCTF控制方法的线性电机平台的控制方法以及控制装置。在平板上设置有能够移动的工作台的线性电机平台上进行定位时,通过使用了名义特性轨迹的NCTF控制,使工作台跟随源于平板的振动,抑制在使工作台跟随平板的振动的过程中所发生的高频振动,所述名义特性轨迹由开环实验得到,所述开环实验使用向所述线性电机平台的输入信号。向NCTF控制加入前馈控制。以抑制平台对相对于工作台的平板的相对性运动的、源于平板的振动的影响的控制为对象。
搜索关键词: 线性 电机 平台 控制 方法 以及 装置
【主权项】:
暂无信息
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