[发明专利]粒子束系统和用于操作粒子束系统的方法在审
| 申请号： | 201911281173.4 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111293017A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | E.埃瑟斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/244;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检查和加工物体的粒子束系统以及一种用于操作该粒子束系统的方法。该粒子束系统包括具有共同的工作区域(53)的电子束柱(3)和离子束柱(5)在该共同的工作区域中可以设置物体(23)，并且在该共同的工作区域中电子束柱(3)的主轴线(55)和离子束柱(5)的主轴线(57)在重合点(58)处相遇。进一步地，粒子束系统包括屏蔽电极(61)，该屏蔽电极可设置在离子束柱(5)的出口开口(54)与重合点(58)之间，所述屏蔽电极能够被设置成比电子束柱(3)更接近重合点(58)。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 系统 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
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