[发明专利]一种改善垂直腔面发射激光器氧化均匀性的湿法氧化工艺在审
| 申请号： | 201911281608.5 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110994359A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 代露;肖黎明 | 申请（专利权）人： | 武汉光安伦光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 代婵 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种改善垂直腔面发射激光器氧化均匀性的湿法氧化工艺，本氧化工艺包括如下步骤：氧化前通入H |
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| 搜索关键词： | 一种 改善 垂直 发射 激光器 氧化 均匀 湿法 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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