[发明专利]预测可镀覆基板片数及构建其预测模型和构建预想引发异常的构成元件的选择模型的方法在审
| 申请号： | 201911281745.9 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111325335A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 大石邦夫;下山正;小泉龙也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G06N3/08 | 分类号： | G06N3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苏琳琳;李慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供预测可镀覆基板片数及构建其预测模型和构建预想引发异常的构成元件的选择模型的方法，能正确地预测基板保持器需要维修的时期。本方法使用基板保持器(18)镀覆多个基板，决定在基板保持器(18)引发异常前使用基板保持器(18)镀覆的基板的总片数，决定第1可处理片数以及第2可处理片数，制作由第1状况数据和第1可处理片数的组合构成的第1数据集，第1状况数据表示基板保持器(18)的构成元件的状态，制作由第2状况数据与第2可处理片数的组合构成的第2数据集，第2状况数据表示构成元件的状态，使用包含第1数据集和第2数据集在的训练数据，将由神经网络构成的预测模型的参数最佳化。 | ||
| 搜索关键词： | 预测 镀覆 基板片数 构建 模型 预想 引发 异常 构成 元件 选择 方法 | ||
【主权项】：
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