[发明专利]一种用于玻璃无锥度精密深孔阵列的加工系统及方法有效
| 申请号： | 201911282302.1 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111098045B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王雪辉;王玉莹;刘慧 | 申请（专利权）人： | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/402;B23K26/064;B23K26/082;B23K26/08;B23K26/142;B23K26/146 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 徐瑛 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于玻璃无锥度精密深孔阵列的加工系统，沿着光路传播路径，所述加工系统依次包括：激光器、扩束镜、动态光束整形系统、振镜、加工物镜、玻璃工件，所述玻璃工件安装在工装夹具上；所述加工系统还包括辅助系统，用于在激光打孔过程中对孔中残留的粉尘进行排除；经过所述加工物镜形成的激光光斑首先作用于玻璃工件的下表面，通过调整光斑在玻璃工件中的深度，使得激光从下往上对玻璃工件进行打孔；所述辅助系统位于玻璃工件下方，从玻璃工件下方去除激光打孔过程中产生的粉尘，从而减小了由于正面加工激光传输效应所造成的背面损伤等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 玻璃 锥度 精密 阵列 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
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