[发明专利]一种大曲率光学元件曲率半径控制方法在审
| 申请号： | 201911284817.5 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN113061861A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李刚;吕起鹏;邓淞文;刘锐;王峰;金玉奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/54;G02B1/10;G01B11/24 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 郑伟健 |
| 地址： | 116023 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于薄膜应力精确控制大曲率光学元件曲率半径的加工方法。这种控制方法是传统光学加工技术与镀膜技术相结合的方法，可以实现光学元件曲率半径大小的精确控制，特别利用了薄膜应力特性，将这种薄膜镀制到光学元件表面上，薄膜应力可以改变元件曲率半径，最终达到精确控制光学元件曲率半径的目的。同时该发明优势在于，在不影响元件的光学特性的前提下，根据薄膜厚度与应变的线性关系，通过沉积不同厚度的薄膜可以精确控制不同曲率半径的光学元件。该发明可以有效减少生产时间，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲率 光学 元件 半径 控制 方法 | ||
【主权项】：
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