[发明专利]一种改进型磷扩散炉及其排除三氯氧磷的方法在审

专利信息
申请号: 201911285157.2 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111041560A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 孙锦国;戴亮亮;柯雨馨;梁兴芳 申请(专利权)人: 阳光中科(福建)能源股份有限公司
主分类号: C30B31/04 分类号: C30B31/04;C30B29/06;H01L31/18
代理公司: 泉州劲翔专利事务所(普通合伙) 35216 代理人: 林枫
地址: 362000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及太阳能电池片的制造领域,尤其是涉及的是一种改进型磷扩散炉,包括:扩散炉炉体、气源装置、尾气收集装置,所述扩散炉炉体的头部设置有炉门,所述扩散炉炉体的内部设置有炉管,所述气源装置与扩散炉炉体连通且为扩散炉炉体提供气源,所述尾气收集装置与扩散炉炉体连通,以收集扩散炉炉体内的尾气,所述气源装置以不同气体流速的多个气路为扩散炉炉体提供气源。本发明结构简单,有效地避免了三氯氧磷热分解过程中的中间产物对扩散炉的腐蚀及炉管尾的堵塞,大大延长了扩散炉的使用寿命。
搜索关键词: 一种 改进型 扩散 及其 排除 三氯氧磷 方法
【主权项】:
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