[发明专利]一种Micro-LED芯片及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201911286166.3 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111430400A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 蒋振宇;闫春辉 申请(专利权)人: 深圳第三代半导体研究院
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L33/06
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 李庆波
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及发光二极管领域,特别是一种Micro‑LED芯片及其制造方法,该Micro‑LED芯片包括:缓冲层;发光外延层,包括依次层叠设置于缓冲层的一侧主表面上的第一导电类型半导体层、量子阱层以及第二导电类型半导体层,其中第二导电类型半导体层、量子阱层以及第一导电类型半导体层形成部分外露第一导电类型半导体层的台面结构,其中,台面结构进一步由沟槽进行划分成阵列排布且彼此独立的多个发光单元。通过上述方式,本申请将现有Micro‑LED芯片的台面结构进一步划分成多个发光单元,进而避免单个发光单元损坏而导致Micro‑LED芯片的整体失效。
搜索关键词: 一种 micro led 芯片 及其 制造 方法
【主权项】:
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