[发明专利]具有增强的离子束聚焦和传输的碰撞室在审
申请号: | 201911289295.8 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN111326400A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | P·I·亨德里克斯;H·奥瑟 | 申请(专利权)人: | 萨默费尼根有限公司 |
主分类号: | H01J49/42 | 分类号: | H01J49/42;H01J49/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈洁;周全 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种多极杆离子导引件包含多个电极,所述多个电极围绕所述装置的纵向轴线安置以限定用于沿着所述装置的长度在相对的入口端和出口端之间传输离子的离子传输体积。电子控制器可操作地连接到RF功率源并连接到所述电极中的至少一些,且被配置成将至少一RF电位施加到所述电极。在使用期间,所述电极沿着所述装置的第一部分产生仅RF场,且沿着所述装置的第二部分产生轴向DC场。在于所述装置的所述第二部分内经历所述轴向DC场之前和/或之后,离子通过所述装置的所述第一部分内的所述仅RF场径向朝内朝向所述装置的所述纵向轴线聚焦。 | ||
搜索关键词: | 具有 增强 离子束 聚焦 传输 碰撞 | ||
【主权项】:
暂无信息
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