[发明专利]一种一维球或锥窝阵列的高精度检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201911289586.7 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110986792B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 赵会宁;于连栋;丁雯静;蒲松;符晗 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 张亮保 |
| 地址： | 230009 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种一维球或锥窝阵列的高精度检测装置，包括L型基座、一维球或锥窝阵列，所述L型基座具有水平部和竖直部的L形结构，所述L型基座竖直部表面固定连接有一维球阵列或锥窝阵列，所述L型基座水平部固定连接有一维高精度位移台，在所述一维高精度位移台上固定有测头；所述测头包括固定底座，所述固定底座上按直线依次安装有透镜、分光镜以及激光器，所述分光镜一侧固定有四象限探测器，所述四象限探测器上设有电源接口及信号输出接口，所述信号输出接口连接数据采集模块相应的通道口。其方法通过几何运算可测量两标准球球心以及两锥窝之间距离。解决了锥窝精度校准问题，也使性能评价过程更加简单和方便，节省了测量成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一维球 阵列 高精度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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