[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层表面处理装置

摘要

本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层表面处理装置，包括依次连通的第一清洗腔室、第一风刀干燥腔室、化学反应腔室、第二风刀干燥腔室、第二清洗腔室与加热干燥腔室，每个腔室内均设有用于运输衬底的输送辊道；第一清洗腔室内的输送辊道上方设有等离子水喷淋设备、输送辊道之间间隔设有滚刷清扫设备；第二风刀干燥腔室内的上部设有风刀吹干机；化学反应腔室内储存有化学溶解剂，用于对太阳能电池吸收层的硒化物与硫化物进行溶解；加热干燥腔室内设有烘干风机；该处理装置能够简单方便地对吸收层表面的颗粒与毛刺进行处理，优化吸收层表面形貌。